你真的了解多波段橢偏儀嗎？它的光譜范圍是多少？

更新時間：2022-08-19 | 點(diǎn)擊率：1432

　　近年來，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中，下面我們就來具體的了解一下這款儀器！

　　它的光譜范圍：

　　最初，多波段橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數(shù)獨(dú)立的波長，較典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長范圍內(nèi)以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比，多波段橢偏儀可以提升多層探測能力，可以測試物質(zhì)對不同波長光波的折射率等。

　　多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的多波段橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達(dá)基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

　　它的應(yīng)用領(lǐng)域：

　　目前，多波段橢偏儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥…等眾多領(lǐng)域中；同時，本儀器還可以檢測介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和石墨烯等眾多材料。

　　多波段橢偏儀有如下特點(diǎn)：

　　1.對材料的光學(xué)常數(shù)的測量更精確：這是由激光的窄帶單色性質(zhì)決定的，激光帶寬通常遠(yuǎn)小于1nm，因此能夠更準(zhǔn)確地獲得激光波長下的材料的材料參數(shù)。

　　2.可對動態(tài)過程進(jìn)行快速測量：激光良好的方向性使得其強(qiáng)度非常高，因此非常適合對動態(tài)過程的實(shí)時測量。

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