三維形貌儀是一種用于測量三維表面形貌、輪廓和曲面特征的儀器。它可以通過激光或白光掃描技術獲取被測物體表面的三維形貌信息，并生成三維模型或曲面圖。三維形貌儀在工業(yè)制造、質量控制、產品設計、醫(yī)療等領域廣泛應用，能夠提供高精度的表面形貌數據，幫助用戶進行產品設計、檢測和分析。常見的三維形貌儀包括激光三維掃描儀、白光干涉儀等。
三維形貌儀通過集成一對單點，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協調運動，QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前，后和基準表面3D點云地形，用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運動架構允許測量旋轉對稱和更復雜的非軸對稱或自由形狀，最大測量直徑為50mm(高達75mm外徑)。根據鏡頭直徑和3D點云采樣密度的不同，每個鏡頭每個表面的總測量時間從30秒到240秒不等。
測量的幾何參數包括：
· 相對于定義的集中度基準的前后曲面頂點偏移量
· 相對于定義的傾斜基準的前后表面楔角
· 前后總厚度變化（TTV）和中心厚度（CT）
· 前后表面凹陷/形狀誤差
三維形貌儀系統特性：
· 緊湊，臺式機組與環(huán)境外殼
· 雙單點、非接觸、可見光、彩色共聚焦傳感器，8kHz組合測量速率
· 震動不敏感和尺寸穩(wěn)定的Invar計量框架
· 納米編碼X/Y/Z協調運動與磁性直線電機和交叉滾子軸承快速光柵或螺旋掃描超過50mm (X)， 50mm (Y)， 50mm (Z)
· 自定義心夾具，精密快速連接，快速裝卸
· 用于單光學元件（最大外徑75mm）和微透鏡托盤的固定裝置
· 用戶友好的QuickPRO™儀器控制和數據采集軟件，用于傳感器優(yōu)化，自動定心，數據捕獲和協調運動測序
· CalcuSurf-3D™查看和分析軟件，用于多表面3D點云數據
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